由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時(shí)選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來(lái),互相補(bǔ)充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對(duì)氫有很高的抽速,單級(jí)旋片真空泵,但不能抽氦,旋片真空泵,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱陰極濺射離子泵)對(duì)氬有一定的抽速,兩者組合起來(lái),便會(huì)使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預(yù)真空;有的真空泵出口壓強(qiáng)低于大氣壓,需要前級(jí)泵,循環(huán)水真空泵,故都需要把泵組合起來(lái)使用。






水環(huán)式真空泵(簡(jiǎn)稱水環(huán)泵)是水泵中的其中一種,屬于它所能獲得的極限真空為2000~4000Pa,串聯(lián)大氣噴射器可達(dá)270~670Pa.水環(huán)式真空泵也可用作壓縮機(jī),稱為水環(huán)式壓縮機(jī),是屬于低壓的壓縮機(jī),耐腐蝕真空泵,其壓力范圍為1~2×105Pa表壓力。
循環(huán)水真空泵的工作水與被壓縮氣體是一起排出的.因此水環(huán)需用新的冷水連續(xù)補(bǔ)充.以保持穩(wěn)定的水環(huán)厚度和溫度。水環(huán)除起“液體活塞”作用.還有散熱(對(duì)縮壓過(guò)程).密封(葉輪與配氣板之間)冷卻(軸封件)等作用。因此泵的工作轉(zhuǎn)速(對(duì)應(yīng)一定的水環(huán)厚度)實(shí)際工作水溫和配氣孔布置是幾個(gè)主要影響因素.對(duì)抽氣量、工作效率和壓縮比(包括可達(dá)真空度)起決定性作用。
能隨時(shí)根據(jù)系統(tǒng)真空度變化自動(dòng)啟停。當(dāng)系統(tǒng)真空降低到比設(shè)定值還大10kPa100mbar時(shí),機(jī)組配三臺(tái)循環(huán)水真空泵.正常運(yùn)行時(shí)投用一至兩臺(tái)。每臺(tái)均為10U%容量。如一臺(tái)泵運(yùn)行時(shí)由另一臺(tái)泵處于自動(dòng)備用。則由壓力開(kāi)關(guān)的作用又使備用泵停下,這樣就保證了抽氣壓力在規(guī)定范圍以內(nèi)運(yùn)行。
